《电子工业专用设备》创刊于1971年，是由中国电子科技集团公司主管，中国电子科技集团公司第四十五研究所主办的学术期刊《电子工业专用设备》主要报道中国国内外半导体设备，反映微电子制造前、后道的新工艺、新设备在科研、技术工程和应用方面的发展趋势与成就
趋势与展望、专题报道、IC前沿制程、封装与测试、行业快讯、新技术应用、企业介绍
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1、文稿务求论点明确，文字简洁，数字准确，引用资料需给出文献。文稿字数一般应在4000—7000字范围（包括图表）。2、题目（不超过20字）、作者及工作单位、地址、邮编、摘要（包括研究目的、方法、结果和结论，200—300字），关键词（3—8个）。3、文中图表。插图应有图序和图题，若有分图除应有总图题外还应有分图题
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